IonPRO:Ion Implantation工业生产线

IonPRO真空系统是一条全新的生产线,致力于利用IONICS开发的创新离子注入技术处理大型扁平部件和产品。串联排列的五个Hardion离子枪确保了离子注入处理的效率和均匀性。锁定室由两个加载板组成,允许在处理室中进行流畅的半连续处理。处理过的表面积达到1600×1800毫米,最大速度为150毫米/秒。该系统非常适合工业升级步骤和小型生产,现在可以运行。该系统与AGC,GRAUX和MATERIA NOVA合作设计。

主要工艺优势:

  • 低温表面处理:任何材料都可以进行处理,甚至是绝缘和温度敏感的材料,不会改变整体性能。
  • 无涂层:材料表面本身得到增强
  • 环保干燥工艺
  • 现在可供出租,该系统由IONICS高度称职的团队管理,并由研发中心MATERIA NOVA提供支持。